- *的低頻隔振效率。(具體效率請見紅藍隔振曲線圖)
- 主動“Hard-Mount”架構提供了比被動氣浮隔離器快10倍的穩(wěn)定時間。(黑色穩(wěn)定速度曲線圖)
- 避免氣浮系統(tǒng)重力不穩(wěn)定的風險。
- 可以與任何設備自帶的隔離系統(tǒng)“堆疊串聯”。
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- 通常情況下一套STACIS®隔振系統(tǒng)由3或4個隔振器加上數字控制器組成:
每個隔振器有三種負載能力的版本可供選擇:
– 400 – 1100 lbs (182 – 500 kg)
– 900 – 2100 lbs (410 – 955 kg)
– 1900 – 4500 lbs (864 – 2045 kg)
對于尺寸較大的平臺系統(tǒng),可以將多個STACIS系統(tǒng)組合為一個操作系統(tǒng)來實現整體的隔振。
STACIS III 通常會配置層壓鋼板平臺和底座支架來調整適配高度。
- 安裝在混凝土地板上:普通實驗室環(huán)境, 通常可以為需要獲得極低的系統(tǒng)高度時做特殊設計。
- 安裝在高架地板上:通常應用于潔凈室中。
C 附帶Lift hood 的STACIS 2100:應用于UHV-STM超高真空掃描隧道顯微鏡
- 配置3-Mount STACIS系統(tǒng)
- 有效降低總體高度的left-hood設計
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