TMC 主動(dòng)磁場消除系統(tǒng)Mag-NetX

Mag-NetX設(shè)計(jì)用于任何帶電束儀器，是一種創(chuàng)新的主動(dòng)控制系統(tǒng)，可補(bǔ)償磁場波動(dòng)。通過帶數(shù)字接口的模擬控制器，Mag-NetX具有更實(shí)時(shí)的消振和連續(xù)監(jiān)控功能，同時(shí)為用戶提供了一個(gè)簡單的內(nèi)置LCD或基于PC的圖形用戶界面（GUI）。通過連續(xù)監(jiān)控GUI顯示的測量字段，可在不依賴于顯微鏡圖像的情況下進(jìn)行微調(diào)。另外，自動(dòng)調(diào)整使典型SEM應(yīng)用的啟動(dòng)變得更加簡單。

亥姆霍茲型配置采用獨(dú)立式籠，安裝在室內(nèi)墻壁軌道上或直接安裝在外殼內(nèi)部，可根據(jù)您的需求和應(yīng)用配置Mag-NetX。

TMC可滿足您的掃描和透射顯微鏡、電子束光刻和離子束儀器在磁場補(bǔ)償和振動(dòng)控制方面zui苛刻的要求。

優(yōu)勢：

帶數(shù)字接口的模擬控制器 - 亥姆霍茲型線圈的模擬控制可實(shí)現(xiàn)更精確的實(shí)時(shí)消振。數(shù)字面板為用戶提供簡單的LCD讀數(shù)或基于PC的圖形用戶界面（GUI）。

現(xiàn)場調(diào)整的靈活性 - 在啟動(dòng)時(shí)針對(duì)典型環(huán)境和應(yīng)用進(jìn)行自動(dòng)調(diào)整，或針對(duì)更具挑戰(zhàn)性的環(huán)境進(jìn)行可調(diào)的現(xiàn)場調(diào)整。

實(shí)時(shí)監(jiān)控 - 通過計(jì)算機(jī)GUI顯示的測量字段進(jìn)行連續(xù)監(jiān)控，甚至可在不依賴于顯微鏡圖像的情況下進(jìn)行微調(diào)。

特點(diǎn)：

亥姆霍茲線圈對(duì)具有最大的對(duì)稱性和均勻性

連續(xù)現(xiàn)場消振和監(jiān)控

有多種交流和直流消振模式

100倍現(xiàn)場改進(jìn)（典型值）

動(dòng)態(tài)、100 μs響應(yīng)

精確的現(xiàn)場測量

具有連續(xù)系統(tǒng)監(jiān)控和分析的圖形用戶界面

可選的線路頻率和諧波的前饋補(bǔ)償

可選的其他輸入前饋功能

可選的自定義字段創(chuàng)建，同時(shí)抑制干擾

易于組裝的不銹鋼籠，也可提供室內(nèi)壁安裝式系統(tǒng)

可提供任何尺寸的籠系統(tǒng)

壁安裝式和外殼安裝式配置包括阻燃級(jí)電纜

TMC 主動(dòng)磁場消除系統(tǒng)Mag-NetX 性能：

應(yīng)用案例：